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晶圓廠製程冷卻水泵新設備頻譜檢測

晶圓廠製程冷卻水泵新設備頻譜檢測

振動頻譜檢測是可以得到最多設備資訊的,利用振動頻譜的檢測不但可以找出設備本身的瑕疵,也可以發現安裝組配的缺失。絕對不要認為新設備不會有問題。就半導體廠製程冷卻水泵新設備驗收案例說明。

轉動設備的使用越來越廣,也越來越複雜,當然有常用於工廠重要生產系統,一般人認為新設備安裝較不會有損壞情形,當然就比較不重視新設備的保養。但就預防保養及非破壞性檢測上來看,並非新設備就不會有缺陷,經常有使用者在完成設備安裝使用後,極短時間內就發生設備轉動異音,伴隨著整體設備振動,甚至影響系統無法運轉,這些問題都是在新設備安裝時造成的。

 

在預防保養觀點來看,新設備驗收執行非破壞性檢測是極為重要的工作,如振動頻譜檢測、紅外線熱影像檢測等。然而振動頻譜檢測是可以得到最多設備資訊的,利用振動頻譜的檢測不但可以找出設備本身的瑕疵,也可以發現安裝組配的缺失。絕對不要認為新設備不會有問題。

以下就半導體廠製程冷卻水泵新設備驗收案例說明。

 

設備名稱:製程冷卻水泵

設備型式:250Hp PCW PUMP

設備資料

負載設備

PUMP

馬達型式

交流感應式變頻馬達

馬力數

185KW

極數

4P

馬達軸承

連軸器側:6320

馬達軸承

封閉側:6316

馬達轉速

1750 RPM

傳動方式

聯軸器

 

檢測狀況:

 

案例一:

n   總振動值均符合標準,但設備選擇性參數管制標準中,兩倍頻驗收標準為1.3mm/s,目前檢測值PIH1.36mm/sPOH1.40mm/s,馬達與泵浦輕微不對心現象。


n
   馬達高頻電氣頻率區於1950Hz振幅達1.37mm/s,此現象為馬達轉定與定子的瑕疵,此現象為馬達製造上的瑕疵,當在某些負載或電流頻率產生電氣共振所致;亦有部分的情況是因馬達軟腳造成,當馬達軟腳未檢查出而遂行設備固定,導致馬達外框架變形,影響馬達磁場產生轉定子瑕疵現象。


n
   設備整體有外鬆動現象,現場檢查避震器固定螺絲有未完全固定鎖緊情況。

 

案例二:

n   泵浦內側量測結果徑向一倍轉速頻率振動過高,檢察發現有基礎水平度不足且避震器固定  螺絲未鎖緊情形。

n  泵浦振動頻譜在轉速倍頻的5倍頻率振幅明顯較高,振幅約1.55mm/s,且同時存在許多明顯的轉速倍頻。其5倍轉速頻率原因來自葉輪,隨鬆動現象,檢查為泵浦外側軸承配合鬆動造成。